Высокоточные гибкие шарниры направляют линейные пьезоэлектрические столы QNP-L, оптимизированные с помощью метода конечных элементов для обеспечения высокой жесткости и долговечности. Такая конструкция обеспечивает превосходную жесткость и резонансную частоту для высокой производительности процесса и быстрого, контролируемого отклика. Конструкция также обеспечивает непревзойденные геометрические характеристики (прямолинейные и угловые погрешности) при минимизации габаритных размеров столов.
Все пьезоэлектрические столы QNP-L обеспечивают обратную связь с обратной связью благодаря уникальной конструкции емкостного датчика, который обеспечивает разрешение позиционирования менее нанометра и высокую точность позиционирования (линейность). Емкостные датчики напрямую измеряют выходной сигнал позиционирующей каретки, что обеспечивает большую линейность и повторяемость по сравнению с методами метрологии с косвенной обратной связью, такими как обратная связь с помощью тензометрических датчиков.
В сочетании с контроллерами и регуляторами серии Q от Aerotech пьезоэлектрические позиционирующие столы QNP-L с нанометровой точностью обеспечивают субнанометровое разрешение позиционирования, высокую стабильность положения и широкую полосу пропускания. Пакет инструментов Dynamic Control Toolbox и Motion Designer от Aerotech предоставляют широкий спектр передовых, удобных для пользователя инструментов, включая машинное обучение, подавление гармоник и моделирование команд, что приводит к снижению ошибок отслеживания и ускорению времени движения и стабилизации.
Автоматическая идентификация и калибровка параметров осуществляется с помощью функции FlashConfig от Aerotech. Таблица автоматически идентифицируется, и все рабочие параметры, включая данные калибровки осей, загружаются в контроллер, обеспечивая безопасную и точную работу, а также немедленное подключение и использование.
Пьезоэлектрические столы QNP-L от Aerotech доступны с емкостной сенсорной обратной связью или без нее (разомкнутая цепь). Дополнительная монтажная пластина позволяет устанавливать стол непосредственно на оптические столы. Стандартные траектории движения по осям X, XY и Z устанавливаются друг относительно друга без необходимости использования дополнительных пластин. Все пьезоэлектрические столы QNP доступны в вакуумно-подготовленном исполнении в качестве опции.
