1. Фильтрация
2. Обратный осмос
3. Окисление
4. УФ-облучение
5. Дегазация
6. Электродеионизация
7. Ионный обмен
8. Ультрафильтрация
Технические характеристики сверхчистой воды и возможности аналитических измерений развивались в соответствии с высокими требованиями производителей микропроцессоров, полупроводников и других устройств на основе кремния. Сверхчистая вода, как правило, считается имеющей удельное сопротивление >18,2 МОм·см при 25 °C и содержащей низкие концентрации металлов в частях на миллиард (ppt), менее 50 ppt неорганических анионов и аммиака, менее 0,2 частей на миллиард (ppb) органических анионов и менее 1 ppb общего органического углерода (TOC) и кремнезема (растворенного и коллоидного).
Ионообменные смолы играют важнейшую роль в процессе производства сверхчистой воды. Компания Dow Water & Process Solutions предлагает специально разработанные ионообменные смолы, обеспечивающие увеличенный срок службы и возможность осветления воды до высокой степени чистоты для специализированных электронных применений, таких как производство дисплеев с низкой плотностью и микросхем, а также операции нарезки пластин и сборки микросхем. Рассмотрим, например, DOW AMBERJET UP4000 — сильнощелочную, однородную анионообменную смолу, специально разработанную для производства сверхчистой воды для полупроводниковой промышленности. Она может использоваться в отдельных емкостях или в установках со смешанным слоем в сочетании с DOW AMBERJET™ UP1400 для удаления ионизированных органических веществ из воды.
Однако процессы ионного обмена, как правило, не удаляют неионизированные органические вещества, включая многие искусственно созданные органические соединения, поэтому требуются другие типы мембранной обработки. Элементы обратного осмоса DOW FILMTEC™ SG (для использования с полупроводниками) были специально разработаны и изготовлены для достижения сверхчистого качества воды, необходимого для производства электронных компонентов, таких как микропроцессорные чипы. Эти электронные элементы включают мембрану, обеспечивающую высокую фильтрующую способность для низкомолекулярных органических соединений и диоксида кремния, а также ускоренное вымывание общего органического углерода — важные характеристики для электронной промышленности.
