Разнообразие длин оптического пути (от 100 мкм до 600 мкм), вариантов обратной связи и вакуумных версий значительно расширяет возможности этой серии столов.
Высокоточные гибкие шарниры направляют пьезоэлектрические столы QNP-L, оптимизированные с помощью конечно-элементного анализа. Полученная конструкция обеспечивает жесткость и высокую резонансную частоту (до 885 Гц) для высокой производительности процесса и быстрого отклика замкнутой системы. Кроме того, интегрированный форм-фактор XY минимизирует общую высоту системы и уменьшает подвижную массу столов, обеспечивая превосходные многоосевые характеристики (статические и динамические).
Все пьезоэлектрические столы QNP предлагают опциональную замкнутую систему обратной связи, использующую уникальную конструкцию емкостного датчика, обеспечивающую высокую линейность и субнанометровое разрешение позиционирования. Емкостные датчики напрямую измеряют выходной сигнал позиционирующей каретки, что обеспечивает более высокую линейность и повторяемость.
Благодаря контроллерам и регуляторам серии Q от Aerotech, пьезоэлектрические столы QNP демонстрируют разрешение позиционирования менее нанометра, стабильность положения и высокую полосу пропускания позиционирования. Программные продукты, такие как Aerotech Dynamic Controls Toolbox и Motion Designer, предоставляют широкий спектр передовых, удобных инструментов, включая машинное обучение, подавление гармоник и создание команд, что приводит к улучшенному отслеживанию ошибок и более быстрому переходу между этапами и установлению положения.
Пьезоэлектрические столы QNP выпускаются с емкостной обратной связью от датчика или без обратной связи (с разомкнутым контуром). Разомкнутый контур представляет собой экономически выгодное решение для применений, требующих субнанометрового разрешения позиционирования, компактных размеров и высоких динамических характеристик, но не требующих абсолютной точности и повторяемости позиционирования. Конструкции с разомкнутым контуром также могут использоваться, когда пьезоэлектрическое позиционирование контролируется внешним источником обратной связи (интерферометр, система машинного зрения, фотодетектор и т. д.).
