В результате это способствует созданию тонких узоров и повышению производительности производства в бесмасочной литографии для усовершенствованной инкапсуляции полупроводников.
* По состоянию на 16 января 2026 г., на основе внутренних исследований Nuvoton по полупроводниковым лазерам, излучающим на длине волны 379 нм в корпусах TO-9 в режиме непрерывного излучения (CW) при температуре корпуса (Tc) 25 °C.
Ключевые достижения
: Достижение оптической мощности класса 1,0 Вт на длине волны 379 нм, что способствует более точному формированию рисунка и повышению производительности в бесмасочной литографии для современной упаковки полупроводников.
Улучшение теплоотвода ультрафиолетовых лазеров благодаря запатентованной структуре устройства и технологии инкапсуляции, подавление деградации, вызванной самонагревом и УФ-излучением, и продление срока службы оптического оборудования.
Расширение ассортимента решений по замене ртутных ламп, повышение гибкости выбора продукции в зависимости от области применения.
Новые характеристики продукта
: 1. Высокая мощность 1,0 Вт на длине волны 379 нм.
Развитие искусственного интеллекта приводит к росту спроса на более мощные вычислительные мощности, что требует более производительных полупроводников. По мере приближения миниатюризации транзисторов к своим физическим и экономическим пределам, все большее значение приобретает усовершенствованная упаковка полупроводников, позволяющая интегрировать чипы, расположенные параллельно или вертикально друг над другом.
В этом контексте бесмасочная литография, позволяющая напрямую отображать схемы проводников из проектных данных без необходимости использования фотошаблонов, набирает популярность для снижения затрат и сроков выполнения, а также для упрощения выравнивания и коррекции на сложных поверхностях.
В качестве ключевого источника света в этой технологии полупроводниковые лазеры требуют более коротких длин волн, близких к i-линии (365 нм), и большей мощности. Используя более чем 40-летний опыт в проектировании и производстве лазеров, компания Nuvoton разработала и коммерциализировала этот ультрафиолетовый лазер мощностью 1,0 Вт на длине волны 379 нм.
2. Улучшенное рассеивание тепла и увеличенный срок службы:
Ультрафиолетовые лазеры обычно выделяют много тепла из-за низкой эффективности преобразования электрической и оптической энергии (ЭОПЭ) и деградации, вызванной УФ-излучением. Компания Nuvoton решила эту проблему, объединив структуру устройства, улучшающую ЭОПЭ, с технологией инкапсуляции с высокой теплопроводностью, что позволило добиться стабильной работы на высокой мощности и увеличить срок службы устройства.
3. Замена ртутных ламп.
Этот новый продукт пополняет линейку альтернативных полупроводниковых лазеров для замены ртутных ламп, предоставляя клиентам большую свободу в проектировании системы в соответствии с требованиями к применению, окружающей среде и производительности.
Области применения:
бесмасочная литография (LDI),
отверждение смол,
маркировка,
3D-печать,
биомедицина,
замена ртутных ламп.
Название продукта: KLC330FL01WW.
Длина волны: 379 нм
. Оптическая мощность: 1,0 Вт.
Корпус: TO-9 CAN.
Начало серийного производства: март 2026 г.
