Крис Басби, глобальный руководитель сегмента полупроводников, говорит: «Эти новые высокотемпературные FFKM и FKM не содержат фторированных поверхностно-активных веществ, то есть производятся без низкомолекулярных фторированных поверхностно-активных веществ PFAS, что снижает воздействие на окружающую среду. Их внедрение помогает клиентам в полупроводниковой отрасли обеспечить устойчивость своих решений по герметизации в будущем в условиях нормативных требований, направленных на сокращение или полное исключение PFAS, а также снизить воздействие своей продукции на окружающую среду без ущерба для эксплуатационных характеристик и долговечности материала».
Isolast® PureFab® JPF50 — это высокочистый, не содержащий наполнителей FFKM, который продлевает срок хранения и повышает производительность, отвечая высоким требованиям полупроводниковой промышленности. Isolast® PureFab® JPF58 — это высокотемпературный FFKM, обеспечивающий чистоту и производительность в сложных полупроводниковых приложениях для продления срока хранения. Isolast® PureFab® VPF20, высокочистый FKM, разработан для производства без загрязнений в полупроводниковой промышленности и производстве плоских дисплеев, где чистота имеет решающее значение. Весь ассортимент полупроводниковых решений Trelleborg разработан для обеспечения высокой производительности и предотвращения преждевременных отказов в условиях экстремальных температур и агрессивных химических прекурсоров, которые все чаще характеризуют полупроводниковую среду.
«Как клиент Trelleborg, вы получаете выгоду от инженерных возможностей мирового класса для разработки правильных индивидуальных решений для все более экстремальных условий современных заводов и производственных подразделений, включая уникальную возможность моделирования данных о деформации сжатия с использованием анализа методом конечных элементов (МКЭ)», — добавляет Басби. «Наш передовой, революционный метод МКЭ предоставляет инженерам более точные прогнозы срока службы прокладок при проектировании и производстве готовой продукции».
Trelleborg представит полный ассортимент своей продукции Isolast® PureFab®, обеспечивающей высокую производительность в агрессивных процессах предварительной обработки, таких как осаждение, травление, зольное удаление/очистка, плазменная очистка и термическая обработка, включая атомно-слоевое осаждение. Одним из выдающихся продуктов в линейке Isolast® PureFab® от Trelleborg является JPF44, высокотемпературный FFKM с твердостью по Шору А 75, работающий при температурах до 325°C/617°F. Разработанный для герметизации при экстремальных температурах в термических и технологических процессах, он обладает превосходной химической стойкостью к реактивным газам, таким как NF₃, O₂ и CF₄. JPF44 демонстрирует превосходную устойчивость к остаточной деформации при сжатии даже после длительных термических циклов и идеально подходит для RTP, высокотемпературного CVD, диффузионных печей и вакуумных насосов. Он отличается низким уровнем газовыделения и относительно высокой чистотой, что минимизирует образование частиц и загрязнение, обеспечивая надежную и долговременную герметизацию, тем самым сокращая время простоя оборудования и частоту профилактического обслуживания.
Также на выставке представлены уплотнения клапанов с приклеенными канавками для камер переноса пластин, обеспечивающие значительно более высокую производительность по сравнению с обычными уплотнительными кольцами. Состоящие из динамических резиновых уплотнений, приклеенных к металлу, они отличаются более длительным сроком службы и гораздо более надежной герметизацией. Благодаря чрезвычайно низкому образованию частиц и высокой износостойкости, минимизируются дорогостоящие простои и интервалы технического обслуживания. Естественно, этот надежный продукт соответствует всем стандартам полупроводниковой промышленности. Еще одно представленное решение — Turcon® Variseal® NW. Корпус фланцевого уплотнения Turcon® включает в себя приводную пружину, которая исключает возможность контакта между пружиной или полостью пружины и рабочей средой системы. Он идеально подходит для применения в полупроводниковой промышленности, где может успешно работать в вакууме и доказал свою эффективность с фтором.
Компания Trelleborg вскоре представит новое решение, дополняющее традиционные эластомерные ленты, защищающие адгезионный слой между керамическим и алюминиевым слоями электростатических оправок (ЭСО). ЭСО — это специализированный тип оправок, использующих электростатическую силу для удержания, фиксации или захвата объектов, и обычно применяются в камерах травления и осаждения для закрепления тонких, хрупких кремниевых пластин. Изготовленные из высокочистых компаундов Isolast® PureFab® FFKM или Turcon® PTFE, решения Trelleborg для герметизации оправок ЭСО продлевают срок службы, защищая внешний диаметр ЭСО от плазменной эрозии. Они доступны в эластомерном (FFKM) исполнении и в варианте из PTFE для низкотемпературного криогенного травления.
