Крис Басби, глобальный руководитель сегмента полупроводников, заявляет: «Эти новые высокотемпературные перфторэластомерные (FFKM) и фторэластомерные (FKM) материалы не содержат фторированных поверхностно-активных веществ, то есть производятся без низкомолекулярных фторированных ПФАС-поверхностно-активных веществ. По мере развития нормативных актов, направленных на сокращение использования ПФАС, эти новые материалы могут помочь клиентам защитить себя от регуляторных рисков и укрепить свою цепочку поставок.
Новые материалы — два FFKM, JPF50 и JPF58, и FKM VPF20 — демонстрируют характеристики без ущерба для производительности или долговечности материала. Мы приглашаем всех заинтересованных клиентов запросить образцы для тестирования».
Isolast® PureFab® JPF50 — это высокочистый FFKM, разработанный для соответствия строгим требованиям к чистоте и устойчивости к плазме в широком диапазоне химических составов и наиболее распространенных прекурсорах тонких пленок. Производится без наполнителей и фторированных поверхностно-активных веществ, что увеличивает срок хранения и повышает эксплуатационные характеристики.
JPF50 помогает снизить риски загрязнения и максимизировать выход продукции благодаря чрезвычайно низкому газовыделению и минимальному выбросу твердых частиц, обеспечивая исключительную производительность при высоких температурах до +300 °C/+572 °F, гарантируя надежную герметизацию в самых суровых условиях. Он разработан с низким остаточным сжатием и высокой механической прочностью, что позволяет увеличить интервалы технического обслуживания и минимизировать незапланированные простои.
JPF50 превосходно подходит для изготовления прокладок и компонентов для процессов осаждения (PECVD, HDPCVD, PEALD) и травления (ALE, сухое травление), а также идеально подходит для прокладок крышек камер и газозаборников, а также для приклеенных канавочных прокладок клапанных дверей.
Isolast® PureFab® JPF58 — это FFKM, разработанный для длительной и надежной работы в условиях экстремальных температур, где крайне важны долговременная термическая стабильность и чистота.
Уплотнительная прокладка JPF58 обладает исключительной термической стабильностью до +300°C/+572°F, обеспечивая неизменную целостность при длительном использовании и устойчивость к растрескиванию под воздействием высоких механических и термических нагрузок, что способствует увеличению срока службы. Выдерживая воздействие агрессивных технологических и выхлопных газов, JPF58 демонстрирует проверенную надежность в сложных условиях эксплуатации, сохраняя стабильность размеров при непрерывной работе под большими нагрузками и при повышенных температурах.
Этот материал идеально подходит для прокладок и компонентов в высокотемпературных процессах, включая RTP, ALD, CVD и диффузионные печи, а также для прокладок кварцевых трубок, распределительных камер, камер и дверей печей, фланцев для вытяжных и вакуумных соединений и центрирующих колец.
PureFab® VPF20 — это высокочистый фторэластомер (FKM), обеспечивающий производство без загрязнений в соответствии со строгими требованиями полупроводниковой промышленности и производства плоских дисплеев. Он сочетает в себе базовый полимер, не содержащий фторированных поверхностно-активных веществ, с высокочистыми синтетическими наполнителями, что помогает минимизировать металлические загрязнения и ионные экстрагируемые вещества, обеспечивая исключительную производительность и надежность в тех областях применения, где чистота имеет решающее значение.
Благодаря высокой механической прочности и упругому восстановлению, VPF20 обеспечивает большую долговечность как в статических, так и в динамических герметизирующих процессах, а также демонстрирует превосходную химическую стойкость к основным химическим веществам, используемым в процессах. VPF20 является более экономичным вариантом, чем FFKM, для применений с умеренными температурами и средними требованиями к химическим веществам.
Он идеально подходит для изготовления прокладок в передаточных модулях, шлюзах загрузки, передних модулях оборудования (EFEM) и вакуумных системах, а также вакуумных прокладок общего назначения и оборудования для производства плоских панельных дисплеев. Он также подходит для применений, где чистота имеет решающее значение и где стандартные черные FKM представляют риск загрязнения.
Весь PureFab® включает материалы, которые обеспечивают превосходные характеристики в агрессивных процессах обработки передних модулей, таких как осаждение, травление, озоление/травление, плазменная очистка и термические процессы, такие как атомно-слоевое осаждение.
