用于直接传感和注油系统的基于MEMS的压力传感器 - Convertronic电子杂志

细节: 类别：传感器; 2014年12月12日

Melexis推出了两款新型压力传感器MLX90815和MLX90816，这两款传感器均已获得汽车应用认证（性能超越AEC-Q100标准）。它们是用于在严苛工作环境下测量绝对压力的分立式微机电系统（MEMS）器件。.

压力传感器-w MLX90815 旨在提供 0 至 30 bar 绝对压力测量的最佳性能，而 MLX90816 则覆盖 30 至 50 bar 的满量程绝对压力范围。两者均具有最大线性偏差仅为满量程 0.2% 的特点。MLX90815 的典型灵敏度为 1.5 mV/V/bar，MLX90816 的典型灵敏度为 0.5 mV/V/bar。

这些 MEMS 器件中集成的传感元件由一个压阻式惠斯通电桥和一个采用 Melexis 专有工艺技术制造的微加工硅压力膜片组成。当压力施加到膜片上时，惠斯通电桥的输出端之间会产生差分电压，同时在电桥的输入端施加偏置电压。

MLX90815 和 MLX90816 压力传感器采用公司自主研发的高性能传感器接口芯片（例如 MLX90320）进行输出信号调理。这些传感器尤其适用于汽车、工业过程控制、家用电器、医疗设备和消费电子产品等各种轮胎压力监测应用。MLX90815

和 MLX90816 的工作温度范围均为 -40°C 至 150°C，即使在最严苛的条件下也能稳定运行。这些器件可以直接用于常规的非腐蚀性/非侵蚀性环境，也可以集成到油浸式传感器模块中以提高其可靠性。