主要特点:
并行测试能力高达 48 个测试点(1.7 kV/20 A)和 16 个测试点(4 kV/20 A)。
晶圆和条形测试效率高,可同时测量 48 个测试点的栅极电阻 (Rg)、栅极电容 (Cg) 和未锁定电感开关 (UiS)。
中功率直流电流源,最多可支持 64 个资源(±110 V,±4 A)。
可编程灌电流/电流源能力高达 ±250 A。
最多 320 个数字通道,输出电压范围为 -1.25 V 至 6.75 V,每个通道配备 64 MB 模式存储器和一个 PPMU。
时间测量单元、数字浮动控制器、LCR 表、PPMU 和精度高达 20 pA 的皮安表,所有组件均可配置多达 64 个单元。
可配置电感和电阻负载。
可选高压(HV)版本,最高可达1700V。
尺寸:
高度:350 毫米
宽度:600 毫米
深度:640 毫米
MICROTEST
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