tables-piezoxystages-alt-w该系列工作台具有多种路径长度(从 100 μm 到 600 μm)、反馈选项和真空版本,使其用途更加广泛。.

精密设计的柔性关节引导着经有限元分析优化的QNP-L压电工作台。这种设计兼具刚性和高谐振频率(高达885 Hz),从而实现高加工吞吐量和快速闭环响应。此外,集成的XY结构最大限度地降低了系统整体高度,并减少了工作台的运动质量,从而实现了卓越的多轴性能(静态和动态)。.

所有QNP压电平台均可选配闭环反馈,采用独特的电容式传感器设计,可实现高线性度和亚纳米级定位分辨率。电容式传感器直接测量定位滑架的输出,从而提高线性度和重复性。.

得益于 Aerotech 的 Q 系列控制器和调节器,QNP 压电平台展现出亚纳米级的定位分辨率、位置稳定性和高定位带宽。Aerotech 的动态控制工具箱和运动设计器等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具,包括机器学习、谐波消除和指令创建,从而提高了误差跟踪能力,并加快了步进和稳定速度。.

QNP压电平台可提供带电容式传感器反馈或不带反馈(开环)两种版本。对于需要亚纳米级定位分辨率、紧凑尺寸和高动态性能,但对定位精度和重复性要求不高的应用,开环方案是一种经济高效的选择。当压电位置由外部反馈源(例如干涉仪、视觉系统、光电探测器等)控制时,也可采用开环设计。.

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