Wooptix首席执行官José Manuel Ramos表示： “Phemet®系统满足了大批量生产中对更高精度工艺控制日益增长的需求，尤其是在行业不断创新，研发出尺寸更小、结构更复杂、性能更高的器件（包括纳米级特征尺寸和新型集成方法
系统能够在单张图像中以亚纳米级分辨率和超快速度采集超过1600万个数据点，为行业树立了新的计量标准。该系统尤其适用于混合键合、背面供电架构以及下一代3D NAND和高带宽存储器的高性能在线测量。”
Phemet® 自动化计量系统可在单张图像中测量整个硅晶圆，捕捉其形状和纳米形貌，以及弧度、翘曲和其他自定义参数。它是一款多功能工具，可测量空白晶圆、图案化晶圆或键合晶圆。Phemet® 具有低噪声和抗振性能，从而提高了测量精度。该系统的原始数据为工厂和性能工程师提供了完整的可追溯性，以便识别套刻误差和其他缺陷的来源，从而提高良率。.
Wooptix 将其专有的波前相位成像 (WFPI) 技术应用于 Phemet®，该技术利用专有算法捕获晶圆的光分布并构建相位图。WFPI 可快速获取亚纳米级分辨率的波前相位图，并提供详细的样品信息，包括完整的晶圆形貌和形变。它提供 4700 x 4700 像素的超高分辨率。.
TechInsights半导体市场分析董事总经理Risto Puhakka评论道： “随着半导体制造向更小的晶圆尺寸、3D集成和更严格的工艺公差发展，精确的晶圆形状和平整度测量变得越来越重要。业界不断寻求新的、创新的、高性能的计量方法，例如结合全视场、高分辨率和高速测量的方法，以降低工艺控制成本、最大限度地减少套刻误差，并提高器件的产量和性能。”
Ramos表示：“我们已经与领先的存储器和逻辑电路客户合作测试了Phemet®，结果非常出色。我们预计很快就能将Phemet®系统交付给多家重要客户，用于大规模生产。”
