1. 过滤
2. 反渗透
3. 氧化
4. 紫外线消毒
5. 脱气
6. 电去离子
7. 离子交换
8. 超滤
为了满足微处理器、半导体和其他硅基器件制造商的严苛需求，超纯水及其分析测量能力的规格不断提升。超纯水通常被认为在 25 °C 时电阻率 >18.2 MΩ-cm，并且含有低浓度的金属（浓度为十亿分之一 ppt）、低于 50 ppt 的无机阴离子和氨、低于 0.2 ppb 的有机阴离子以及低于 1 ppb 的总有机碳 (TOC) 和二氧化硅（溶解态和胶体态）含量。.
离子交换树脂在超纯水生产过程中发挥着至关重要的作用。陶氏水处理及工艺解决方案提供专为特殊电子应用设计的离子交换树脂，这些树脂具有更长的使用寿命和高纯水澄清能力，例如低密度显示器件和集成电路 (IC) 芯片的制造，以及晶圆切割和芯片端接组装等应用。以陶氏 AMBERJET™ UP4000 为例，这是一款专为半导体行业超纯水生产而开发的强碱性、均匀阴离子交换树脂。它可以单独使用，也可以与陶氏 AMBERJET™ UP1400 配合使用于混合床装置中，用于去除水中的离子化有机物。.
然而，离子交换工艺通常无法去除非离子化的有机物，包括许多人造有机化合物，因此需要其他类型的膜处理。DOW FILMTEC™ SG 反渗透元件（适用于半导体行业）经过专门设计和制造，可达到制造电子元件（例如微处理器芯片）所需的超纯水水质。这些电子元件包含一种膜，该膜对低分子量有机化合物和二氧化硅具有高过滤能力，并能快速去除总有机碳（TOC）——这些都是电子制造业的重要特性。.
