全球半导体业务负责人克里斯·巴斯比表示： “这些新型高温全氟橡胶 (FFKM) 和氟橡胶 (FKM) 材料不含氟化表面活性剂，这意味着它们的生产过程中未使用低分子量氟化 PFAS 表面活性剂。随着旨在减少 PFAS 使用的法规不断完善，这些新材料可以帮助客户规避监管风险并强化其供应链。
这些新材料——两种 FFKM（JPF50 和 JPF58）以及 FKM（VPF20）——在不影响材料性能或耐久性的前提下，实现了卓越的性能。我们诚邀所有感兴趣的客户申请样品进行测试。”

Isolast® PureFab® JPF50 是一款高纯度全氟橡胶 (FFKM)，其配方旨在满足各种化学成分和最常用薄膜前驱体对纯度和耐等离子体性能的严格要求。该产品不含填料或氟化表面活性剂，可延长保质期并提升性能。JPF50
具有极低的脱气量和极少的颗粒物排放，有助于降低污染风险并最大限度地提高工艺良率，即使在高达 +300 °C/+572 °F 的高温下也能保持卓越的性能，确保在最严苛的环境下也能可靠密封。此外，JPF50 采用低永久压缩变形和高机械强度设计，可延长维护周期并最大限度地减少计划外停机时间。

JPF50 在沉积工艺（PECVD、HDPCVD、PEALD）和蚀刻（ALE、干法蚀刻）的垫片和组件方面表现出色，是腔室盖和气体入口垫片以及粘合槽阀门垫片的理想选择。.

Isolast® PureFab® JPF58 是一种 FFKM，专为在极端温度环境下持续可靠运行而开发，在这些环境中，长期热稳定性和纯度至关重要。.

JPF58 具有卓越的热稳定性，最高可达 +300°C/+572°F，确保垫片在长期使用中保持完整性，并能抵抗高机械和热应力下的开裂，从而延长使用寿命。JPF58 能够承受腐蚀性工艺气体和废气的侵蚀，在严苛的应用环境中展现出久经考验的可靠性，即使在重载和高温下连续运行，也能保持尺寸稳定性。.

该材料是高温工艺（包括快速热处理炉 (RTP)、原子层沉积炉 (ALD)、化学气相沉积炉 (CVD) 和扩散炉）中垫片和组件的理想之选，也适用于石英管垫片、分配腔、炉膛和炉门、排气和真空连接法兰以及定心环。PureFab®
VPF20 是一种高纯度氟橡胶 (FKM)，可确保无污染生产，满足半导体和平板显示器制造的严格要求。它采用不含氟化表面活性剂的基础聚合物和高纯度合成填料，有助于最大限度地减少金属污染物和离子萃取物，从而在对纯度要求极高的应用中提供卓越的性能和可靠性。

VPF20 具有高机械强度和弹性恢复能力，在静态和动态密封应用中均展现出卓越的耐久性，并且对工艺流程中使用的主要化学品具有优异的耐化学性。对于温度适中且化学要求中等的应用，VPF20 比 FFKM 更具成本效益。
它非常适合用于制造传输模块、装载气闸、设备前端模块 (EFEM) 和真空处理系统中的垫片，以及通用真空垫片和平板显示器制造设备。此外，它也适用于对纯度要求极高且标准黑色 FKM 存在污染风险的应用。
整个 PureFab® 产品均包含可在沉积、蚀刻、灰化/酸洗、等离子清洗和原子层沉积等热处理工艺等严苛工艺中表现优异的材料。