O modelo AVS1000 apresenta uma grande abertura de acesso para microscópios ou aplicações de imagem onde é necessário um caminho ótico ininterrupto ou onde as ferramentas estão integradas sob a placa superior para manter o ponto de interesse baixo.
A mesa elevatória vertical tem uma capacidade de carga centrada de 135 kg e está disponível numa seleção de cursos verticais com uma amplitude de 5 mm ou mais, dependendo da aplicação. Com uma resolução de posicionamento de cinco nanómetros, a mesa oferece uma precisão calibrada melhor que +/- 1,0 mícron e uma repetibilidade bidirecional até +/- 0,5 mícron.
O AVS1000 é fabricado com uma base de alumínio e possui um acabamento anodizado preto durável para a gama de pressão padrão ou um acabamento alternativo em níquel químico para aplicações de proteção ESD. Está também disponível uma versão compatível com salas limpas, bem como versões preparadas para vácuo para 10⁻³ (elevado) ou 10⁻⁶ (elevado) torr.
A AVS1000 inclui um suporte de motor NEMA 34 para utilização com os servomotores da série BMS da Aerotech, garantindo movimentos suaves. O encoder rotativo de 1000 linhas pode ser configurado como TTL ou Senoidal para satisfazer as necessidades de resolução do cliente.
Estas mesas podem ser utilizadas individualmente ou em conjunto com mesas lineares ou rotativas para uma solução completa de microposicionamento multieixos. As mesas AVS1000 estão disponíveis com precisão standard ou HALAR, onde os erros do interferómetro medidos de fábrica são armazenados no controlador de movimento e compensados para melhorar a precisão e a repetibilidade. O controlo é realizado através de uma combinação de software e hardware e inclui comandos de movimento avançados que otimizam o desempenho, reduzem o tempo de preparação, aumentam a capacidade de produção e permitem melhores acabamentos das peças.
