Posicionadores lineales piezoeléctricos con precisión nanométrica
Las mesas lineales de nanoposicionamiento piezoeléctricas de la serie QNP de Aerotech ofrecen un rendimiento de nivel de nanómetro en un embalaje compacto y de gran rigidez. La gran variedad de opciones de recorrido y realimentación hacen que estas mesas sean perfectas para aplicaciones que abarcan desde la microscopía a la alineación óptica.
Unas juntas flexibles de precisión guían las mesas piezoeléctricas lineales QNP-L que se optimizan mediante el uso de análisis de elementos finitos para garantizar una gran rigidez y una alta durabilidad. Este diseño ofrece la mejor rigidez y frecuencia de resonancia para obtener un elevado rendimiento del proceso y una rápida respuesta bajo control. El diseño también proporciona un rendimiento geométrico inigualable (errores rectilíneos y angulares) a la vez que minimiza el tamaño general del embalaje de las mesas.
Todas las mesas piezoeléctricas QNP-L ofrecen realimentación en bucle cerrado mediante el uso de un diseño único de sensor capacitivo que proporciona una resolución de posicionamiento inferior a un nanómetro y una precisión de alto posicionamiento (linealidad). Los sensores capacitivos miden directamente la salida del carro de posicionamiento, lo que permite una mayor linealidad y repetitividad de posicionamiento en comparación a las técnicas de metrología de realimentación indirecta, como la realimentación del medidor de tensiones.
Al acoplarse con los controladores y reguladores de la serie Q de Aerotech, las mesas de posicionamiento con precisión nanométrica piezoeléctricas QNP-L muestran una resolución de posicionamiento inferior a un nanómetro y estabilidad en posición y un ancho de banda alto. Las herramientas de controles dinámicos (Dynamic Control Toolbox) y diseñador de movimiento (Motion Designer) de Aerotech proporcionan una gran variedad de herramientas avanzadas y fáciles de usar, como aprendizaje automático, cancelación armónica y modelado de comandos, lo que ofrece errores de seguimiento mejorados y tiempos de movimiento y estabilización más rápidos.
La identificación automática de parámetros y calibración se consigue mediante la función FlashConfig de Aerotech. La mesa se identifica automáticamente y todos los parámetros operativos, incluidos los datos de calibración de ejes, se cargan en el controlador, lo que garantiza un funcionamiento seguro, preciso y de conexión y uso inmediatos.
Las mesas piezoeléctricas QNP-L de Aerotech están disponibles con realimentación de sensores capacitivos o sin realimentación (circuito abierto). Una placa de montaje opcional ofrece un montaje directo en tablas ópticas. Los recorridos comunes de las mesas X, XY y Z se montan una a otra sin necesidad de extra placas. Todas las mesas piezoeléctricas QNP están disponibles en versiones preparadas para el vacío como opción.
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