Die Arbeit baut auf über einem Jahrzehnt Grundlagenforschung zu Quantengeräten an der Universität Lancaster auf. Fortschrittliche atomare Bearbeitungsprozesse werden nun in den KAUST Core Labs mit der ALE-Technologie von Oxford Instruments durchgeführt. Diese Kombination ermöglicht eine Steuerung im Subnanometerbereich bei gleichzeitig minimaler Beschädigung – eine entscheidende Voraussetzung für die präzise gefertigten Quantenfilm-Heterostrukturen, die ULTRARAM zugrunde liegen.

ULTRARAM ist eine Speichertechnologie, die die Geschwindigkeit von DRAM-Speichern mit nichtflüchtiger Datenspeicherung kombiniert und dadurch das Potenzial für Verbesserungen der Energieeffizienz und Systemleistung bietet. Dies erfordert eine präzise Kontrolle der Grenzflächen und der Schichtdicke in komplexen III-V-Halbleiterstrukturen, weshalb Fertigungstechniken im atomaren Maßstab ideal geeignet sind.

„Die Kontrolle unserer Quantenstruktur auf atomarer Ebene ist für ULTRARAM von grundlegender Bedeutung“, sagte James Ashforth-Pook, CEO und Mitbegründer von Quinas Technology. „Die Zusammenarbeit mit den KAUST Core Labs und die Nutzung der Atomlagen-Ätztechnologie von Oxford Instruments ermöglichen uns den Zugang zu einer der weltweit fortschrittlichsten und zuverlässigsten Umgebungen für die Halbleiterforschung und -entwicklung mit minimalen Schäden.“.

Die KAUST Core Labs genießen internationale Anerkennung in den Bereichen fortgeschrittene Nanofabrikation, Plasmaverarbeitung und Halbleiterforschung und fördern sowohl akademische Exzellenz als auch die Entwicklung industrieller Technologien.

„KAUST Core Labs unterstützt Spitzenforschung im Bereich der Halbleitertechnik durch fortschrittliche Nanofabrikationsanlagen und atomare Verarbeitungswerkzeuge, die für die Entwicklung von schadensarmen Bauelementen konzipiert sind“, sagte Dr. Kenneth Kennedy, Direktor des KAUST Nanofabrication Core Lab.

„Die Atomlagenätzung ermöglicht die präzise und schonende Herstellung von Nanobauteilen und findet weltweit zunehmend Anwendung in der Halbleiterforschung und -produktion. Wir freuen uns sehr, dass Quinas die ALE-Systeme von Oxford Instruments in den KAUST Central Laboratories zur Fertigung seiner ULTRARAM-Bauelemente einsetzt. KAUST ist ein langjähriger Kunde von Plasma Technology und verfügt über eine Reihe von ALE- und ALD-Systemen (Atomlagenabscheidung), darunter die neueste ALD-Technologie, das PlasmaPro ASP“, so Harriet van der Vliet, Leiterin der Abteilung Strategische Märkte Forschung & Entwicklung bei Oxford Instruments Plasma Technology.

das wachsende Engagement von Quinas Technology für das fortschrittliche Forschungsökosystem Saudi-Arabiens im Rahmen seiner globalen F&E-Strategie und stärkt die Position des Unternehmens bei der Weiterentwicklung von ULTRARAM hin zur Prototypenentwicklung und zukünftigen Zusammenarbeit mit Industriepartnern, Gießereien und strategischen Investoren.