Una de las principales novedades es la gama Trelleborg PureFab, desarrollada para ofrecer elevada pureza, baja contaminación, resistencia a altas temperaturas y niveles reducidos de desgasificación (outgassing).
La familia incorpora dos materiales de perfluoroelastómero (FFKM), JPF50 y JPF58, y un fluoroelastómero (FKM), VPF20, fabricados sin utilizar fluorosurfactantes. Según Trelleborg, estos materiales mantienen las prestaciones de resistencia y durabilidad necesarias para aplicaciones exigentes.
La eliminación de fluorosurfactantes responde al creciente interés por reducir el uso de estas sustancias, sometidas a un mayor escrutinio debido a su persistencia ambiental.
Materiales Isolast PureFab para procesos de fabricación de chips
Trelleborg también presenta su gama Isolast PureFab, compuesta por materiales FFKM destinados a procesos de fabricación de semiconductores. Estos materiales están diseñados para aplicaciones de deposición, grabado, eliminación de residuos, limpieza por plasma y tratamientos térmicos, incluida la deposición por capas atómicas (ALD). Entre sus características destacan la estabilidad a altas temperaturas, la elevada pureza, el bajo contenido de trazas metálicas y la resistencia al plasma.
Estas propiedades contribuyen a reducir la generación de partículas y la desgasificación en condiciones de alto vacío, factores importantes para evitar la contaminación durante la fabricación de chips.
Juntas para cámaras de transferencia y bombas de vacío
La compañía muestra además juntas de válvula de ranura con unión caucho-metal, destinadas a las cámaras de transferencia de obleas. Estos componentes combinan resistencia al desgaste y baja desgasificación, por lo que están orientados a equipos de fabricación de semiconductores de gran volumen.
Otra de las soluciones expuestas son las juntas rotativas Turcon Varilip PDR, diseñadas para bombas de vacío.
Su funcionamiento de baja fricción y sin movimientos intermitentes de adherencia y deslizamiento (stick-slip) permite limitar la generación de calor, alcanzar mayores velocidades periféricas y reducir el consumo energético. Según las pruebas citadas por Trelleborg, estas juntas requieren aproximadamente un 50 % del par de funcionamiento de una junta radial convencional cuando trabajan con aceite Fomblin, utilizado habitualmente en bombas de vacío para semiconductores.
Soluciones de sellado para bridas y aplicaciones de vacío
La oferta incluye diferentes sistemas de sellado para bridas, entre ellos Turcon Variseal NW, que incorpora un muelle energizador protegido por una carcasa Turcon. Esta configuración evita el contacto del muelle y su alojamiento con el medio de proceso, por lo que está indicada para aplicaciones de vacío y gases fluorados. También se presenta la junta de brida Isolast K-Fab, fabricada con FFKM y diseñada para resistir temperaturas extremas y sustancias químicas complejas.
Su diseño utiliza menos material elastomérico que las juntas tóricas convencionales, lo que mejora su comportamiento térmico y reduce los problemas asociados a la expansión del material. La compañía completa su oferta con anillos centradores para juntas tóricas, disponibles en versiones estándar y personalizadas con materiales FKM e Isolast PureFab FFKM.
Simulación para predecir la vida útil de las juntas
Además de los materiales y componentes, Trelleborg presenta sus capacidades de ingeniería para desarrollar soluciones de sellado adaptadas a aplicaciones específicas. Entre ellas destaca el uso del análisis por elementos finitos (FEA) para modelar la deformación permanente por compresión de los elastómeros y estimar la vida útil de las juntas.
Según Chris Busby, Global Segment Director de Trelleborg Sealing Solutions, este enfoque permite obtener predicciones más precisas sobre la durabilidad de los componentes que las basadas únicamente en ensayos convencionales.
Con estas novedades, la compañía busca responder a las exigencias de los fabricantes de equipos para semiconductores, especialmente en materia de pureza, resistencia química, estabilidad térmica y reducción de los costes de mantenimiento.
