Chris Busby, director global del segmento de semiconductores, afirma: «Estos nuevos FFKM y FKM de alta temperatura no contienen tensioactivos fluorados, lo que significa que se fabrican sin tensioactivos fluorados PFAS de bajo peso molecular para reducir el impacto medioambiental. Su introducción ayuda a los clientes del sector de los semiconductores a preparar sus soluciones de sellado para el futuro frente a la normativa que busca reducir o eliminar los PFAS, al tiempo que reduce el impacto medioambiental de sus productos, sin comprometer el rendimiento y la durabilidad de los materiales».
Isolast® PureFab® JPF50 es un FFKM de alta pureza fabricado sin rellenos que prolonga la vida útil y aumenta el rendimiento, cumpliendo con los exigentes requisitos de la industria de los semiconductores. Isolast® PureFab® JPF58 es un FFKM de alta temperatura que ofrece pureza y rendimiento en aplicaciones de semiconductores exigentes para prolongar la vida útil. Isolast® PureFab® VPF20, un FKM de alta pureza, está diseñado para la producción libre de contaminación en la fabricación de semiconductores y pantallas planas, donde la pureza es fundamental. Toda la gama de soluciones para semiconductores de Trelleborg está diseñada para funcionar y evitar fallos prematuros en las temperaturas extremas y los precursores químicos más agresivos que caracterizan cada vez más los entornos de semiconductores.
«Como cliente de Trelleborg, se beneficia de capacidades de ingeniería de primera calidad para desarrollar las soluciones personalizadas adecuadas para los entornos cada vez más extremos de las fábricas y subfábricas actuales, incluida la capacidad única de modelar datos de deformación por compresión mediante el análisis de elementos finitos (FEA)», añade Busby. «Nuestro avanzado FEA, que supone un cambio radical en la tecnología, proporciona a los ingenieros predicciones más precisas de la vida útil de una junta mientras diseñan y fabrican productos acabados».
Trelleborg presentará toda su gama Isolast® PureFab®, que ofrece un gran rendimiento en procesos frontales agresivos, como la deposición, el grabado, la ceniza/desprendimiento, la limpieza por plasma y el procesamiento térmico, como la deposición de capas atómicas. Uno de los productos más destacados de la gama Isolast® PureFab® de Trelleborg es el JPF44, un FFKM de alta temperatura con una dureza Shore A de 75, que funciona a temperaturas de hasta 325 °C/617 °F. Diseñado para el sellado a temperaturas extremas en entornos de procesos térmicos y subfab, tiene una excelente resistencia química a gases reactivos como NF₃, O₂ y CF₄. El JPF44 presenta una resistencia superior a la deformación por compresión, incluso después de ciclos térmicos prolongados, y es ideal para RTP, CVD de alta temperatura, herramientas de hornos de difusión y bombas de vacío. Tiene una baja desgasificación y una pureza relativamente alta, lo que minimiza la generación de partículas y la contaminación, y ofrece un sellado fiable a largo plazo, lo que reduce el tiempo de inactividad de las herramientas y la frecuencia del mantenimiento preventivo.
También se presentan juntas de válvula de ranura adheridas para cámaras de transferencia de obleas, que ofrecen un rendimiento significativamente superior al de las juntas tóricas convencionales. Compuestas por juntas dinámicas de goma adheridas al metal, se caracterizan por una vida útil más larga y un rendimiento de sellado mucho más fiable. Gracias a su extremadamente baja generación de partículas y su alta durabilidad, se minimizan los costosos tiempos de inactividad y los intervalos de mantenimiento. Naturalmente, este fiable producto cumple con todos los estándares de la industria de semiconductores. Otra solución que se exhibe es el Turcon® Variseal® NW. La carcasa Turcon® de la junta de brida incluye un resorte de activación que elimina la posibilidad de contacto entre el resorte o la cavidad del resorte y los medios del sistema. Es ideal para aplicaciones de semiconductores, donde puede funcionar con éxito en vacío y ha demostrado su eficacia con gas flúor.
Trelleborg también presentará en breve una nueva solución para complementar las bandas de elastómero que tradicionalmente protegen la capa adhesiva de interfaz entre las capas de cerámica y aluminio de los mandriles electrostáticos (ESC). Los ESC son un tipo especializado de mandril que utiliza la fuerza electrostática para sujetar, mantener o recoger objetos, y se utilizan normalmente en cámaras de grabado y deposición para fijar obleas de silicio finas y delicadas. Fabricadas con compuestos Isolast® PureFab® FFKM o Turcon® PTFE de alta pureza, las soluciones de sellado para mandriles ESC de Trelleborg aumentan la vida útil, protegiendo el diámetro exterior del ESC de la erosión por plasma. Están disponibles en versiones de elastómero (FFKM) y en un diseño de PTFE para aplicaciones de grabado criogénico a baja temperatura.
