Entscheidend ist ein präzises Datenerfassungssystem, da die APC-Technologie auf Messtechnikanwendungen basiert. Die Waferfertigung umfasst viele sich wiederholende Prozesse. Jeder dieser Prozesse nutzt ein APC-Subsystem zur Fehlererkennung und -klassifizierung (FDC), das automatisch Geräteprobleme identifiziert und Abschaltungen sowie Alarme auslöst.
Systemanforderungen:
Ein namhafter Waferhersteller suchte nach einer fortschrittlichen Lösung für seine Waferpoliermaschine, da die ursprüngliche Abtastrate (eine Abtastung pro Sekunde) unzureichend war und zu einer Übergleichrichtung führte. Ein Austausch der Maschine kam aufgrund der bestehenden Garantie nicht in Frage. Die einzige Lösung bestand daher darin, externe Geräte anzuschließen, um den Wechselstrom des Gleichrichterkopfmotors zu messen, ohne die vorhandenen Leitungen zu beschädigen. Zusätzlich war es erforderlich, ein Schließersignal (NC) zur Steuerung des Gleichrichterkopfes auszugeben.
Implementierung des Projekts ADAM-3114-T
, APAX-5017 Isoliertes Wechselstrom-Eingangsmodul
, APAX-5070 12-Kanal-Analog-Eingangsmodul
, APAX-5045 Modbus/TCP-Kommunikationsmodul-Koppler
, 24-Kanal-Digital-Ein-/Ausgangsmodul
Systemdiagramm:
Durch den Einsatz verschiedener I/O-Module entwickelte Advantech die optimale nicht-invasive Lösung zur Verbesserung der Abtastrate des Datenerfassungssystems für die Waferproduktion, wodurch gleichzeitig der Maschinendurchsatz gesteigert wurde.
Zur Erhöhung der Abtastrate (bis zu 3 Abtastungen/s) wurden das Advantech-Modul ADAM-3114-T sowie Produkte der APAX-Serie (APAX-5017, APAX-5070 und APAX-5045) im Schaltschrank installiert. Aufgrund unzureichender Wechselstromsignalstärke lieferte Advantech ein kundenspezifisches Produkt (ADAM-3114-T) mit einem isolierten Wechselstrom-Eingangssignalaufbereiter. Dieser verstärkt die Sensorstromsignale und leitet die Daten an den APAX-5017 weiter, der die analogen Signale empfängt.
Der Modbus/TCP-Kommunikationsmodulkoppler APAX-5070 überträgt die Druckkopfmotordaten über das Intranet an den Server, sodass der Administrator den Betriebszustand der Maschine überwachen kann. Im Problemfall kann der Benutzer die Maschine mithilfe des digitalen Eingangsmoduls APAX-5045 herunterfahren, welches dann über seinen digitalen Ausgang die Steuerung des Druckkopfs übernimmt. Advantech bietet zudem System-Upgrades an. So kann der Benutzer beispielsweise mit denselben Produkten einfach weitere Kanäle hinzufügen, um die Abtastrate auf 20 Abtastungen pro Sekunde oder höher zu erhöhen.
