Chris Busby, director global del segmento de semiconductores, afirma: «Estos nuevos materiales de perfluoroelastómero (FFKM) y fluoroelastómero (FKM) para altas temperaturas están “libres de tensioactivos fluorados”, lo que significa que se fabrican sin tensioactivos fluorados PFAS de bajo peso molecular. A medida que evolucionan las normativas para reducir el uso de PFAS, estos nuevos materiales pueden ayudar a los clientes a protegerse frente a los riesgos normativos y a reforzar su cadena de suministro.
«Los nuevos materiales —dos FFKM, el JPF50 y el JPF58, y el FKM VPF20— funcionan sin comprometer en absoluto el rendimiento ni la durabilidad de los materiales. Invitamos a todos los clientes interesados a solicitar muestras para realizar pruebas».
Isolast® PureFab® JPF50 es un FFKM de alta pureza formulado para cumplir los estrictos requisitos de pureza y resistencia al plasma en diversas composiciones químicas y en los precursores de película fina más comunes. Se fabrica sin rellenos ni tensioactivos fluorados, prolonga la vida útil y aumenta el rendimiento.
El JPF50 ayuda a reducir los riesgos de contaminación y maximiza los rendimientos del proceso gracias a su desgasificación extremadamente baja y a su mínima emisión de partículas, ofreciendo un rendimiento excepcional a altas temperaturas de hasta +300 °C/+572 °F, lo que garantiza un sellado fiable en los entornos más adversos. Está diseñado con una baja deformación permanente por compresión y una gran resistencia mecánica para permitir intervalos más largos entre mantenimientos y ayudar a minimizar los tiempos de inactividad no planificados.
El JPF50 destaca en juntas y componentes de procesos de deposición (PECVD, HDPCVD, PEALD) y de grabado (ALE, grabado en seco), y es ideal para juntas de tapas de cámara y de entrada de gas, así como para juntas de puertas de válvulas de ranura adheridas.
Isolast® PureFab® JPF58 es un FFKM desarrollado para un funcionamiento sostenido y fiable en entornos con temperaturas extremas, donde la estabilidad térmica a largo plazo y la pureza son esenciales.
El JPF58 ofrece una estabilidad térmica excepcional de hasta +300 °C/+572 °F, lo que garantiza la integridad constante de la junta durante un uso prolongado, y resiste el agrietamiento cuando se expone a elevadas tensiones mecánicas y térmicas, lo que contribuye a una vida útil más larga. Al soportar la exposición a gases de proceso y de escape agresivos, el JPF58 proporciona una fiabilidad probada en aplicaciones exigentes, manteniendo la estabilidad dimensional durante el funcionamiento continuo bajo cargas elevadas y temperaturas elevadas.
El material es ideal para juntas y componentes en procesos a alta temperatura, incluidos hornos RTP, ALD, CVD y de difusión, así como para juntas de tubos de cuarzo, cámaras de distribución, cámaras y puertas de hornos, y bridas de conexión de escape y vacío, y anillos de centrado.
PureFab® VPF20 es un fluoroelastómero (FKM) de alta pureza que garantiza una producción libre de contaminación para satisfacer las estrictas exigencias de la fabricación de semiconductores y pantallas planas. Combina un polímero base sin tensioactivos fluorados con cargas sintéticas de alta pureza para ayudar a minimizar los contaminantes metálicos y los extractables iónicos, lo que ofrece un rendimiento y una fiabilidad excepcionales en aplicaciones en las que la pureza es fundamental.
Gracias a su gran resistencia mecánica y su recuperación elástica, el VPF20 ofrece una mayor durabilidad tanto en aplicaciones de sellado estáticas como dinámicas, y demuestra una gran resistencia química frente a los principales productos químicos utilizados en los procesos. El VPF20 supone una opción más rentable que el FFKM para aplicaciones con temperaturas moderadas y exigencias químicas medias.
Es ideal para la fabricación de juntas en módulos de transferencia, esclusas de carga, módulos frontales de equipos (EFEM) y sistemas de manipulación al vacío, juntas de vacío de uso general y equipos de fabricación de pantallas planas, así como en aplicaciones en las que la pureza es fundamental y en las que los FKM negros estándar presentan riesgo de contaminación.
Toda la gama PureFab® incluye materiales que ofrecen un rendimiento excelente en procesos frontales agresivos, como la deposición, el grabado, la cenización/decapado, la limpieza por plasma y los procesos térmicos, como la deposición de capas atómicas.
