Chris Busby, globaler Leiter des Halbleitersegments, erklärt: „Diese neuen Hochtemperatur-Perfluorelastomere (FFKM) und Fluorelastomere (FKM) sind frei von fluorierten Tensiden. Das bedeutet, sie werden ohne niedermolekulare fluorierte PFAS-Tenside hergestellt. Angesichts der sich wandelnden Vorschriften zur Reduzierung des PFAS-Einsatzes können diese neuen Materialien Kunden helfen, sich vor regulatorischen Risiken zu schützen und ihre Lieferkette zu stärken.
Die neuen Materialien – die beiden FFKMs JPF50 und JPF58 sowie das FKM VPF20 – bieten Leistung ohne Kompromisse bei Materialeigenschaften oder Haltbarkeit. Interessierte Kunden können gerne Muster zum Testen anfordern.“
Isolast® PureFab® JPF50 ist ein hochreines FFKM, das speziell für höchste Reinheits- und Plasmabeständigkeitsanforderungen entwickelt wurde und ein breites Spektrum an chemischen Zusammensetzungen sowie die gängigsten Dünnschicht-Vorläufermaterialien erfüllt. Hergestellt ohne Füllstoffe oder fluorierte Tenside, verlängert es die Lagerfähigkeit und verbessert die Leistung.
Dank seiner extrem geringen Ausgasung und minimalen Partikelemissionen trägt JPF50 zur Reduzierung von Kontaminationsrisiken und zur Maximierung der Prozessausbeute bei. Es bietet außergewöhnliche Leistung bei hohen Temperaturen bis zu +300 °C und gewährleistet so eine zuverlässige Abdichtung selbst unter härtesten Bedingungen. Die geringe bleibende Druckverformung und die hohe mechanische Festigkeit ermöglichen längere Wartungsintervalle und minimieren ungeplante Ausfallzeiten.
Die JPF50 zeichnet sich durch Dichtungen und Komponenten für Beschichtungsprozesse (PECVD, HDPCVD, PEALD) und Ätzverfahren (ALE, Trockenätzen) aus und ist ideal für Dichtungen für Kammerdeckel und Gaseinlässe sowie für geklebte Nutdichtungen für Ventiltüren.
Isolast® PureFab® JPF58 ist ein FFKM, das für einen dauerhaften und zuverlässigen Betrieb in Umgebungen mit extremen Temperaturen entwickelt wurde, in denen langfristige thermische Stabilität und Reinheit unerlässlich sind.
Die Dichtung JPF58 bietet eine außergewöhnliche thermische Stabilität bis +300 °C und gewährleistet so eine gleichbleibende Dichtheit über lange Einsatzzeiten. Sie widersteht Rissbildung unter hohen mechanischen und thermischen Belastungen und trägt damit zu einer längeren Lebensdauer bei. Die JPF58 ist beständig gegenüber aggressiven Prozess- und Abgasen und bietet bewährte Zuverlässigkeit in anspruchsvollen Anwendungen. Sie behält ihre Formstabilität auch im Dauerbetrieb unter hohen Belastungen und erhöhten Temperaturen bei.
Das Material eignet sich ideal für Dichtungen und Bauteile in Hochtemperaturprozessen wie RTP, ALD, CVD und Diffusionsöfen sowie für Quarzrohrdichtungen, Verteilerkammern, Ofenkammern und -türen, Abgas- und Vakuumanschlussflansche und Zentrierringe.
PureFab® VPF20 ist ein hochreines Fluorelastomer (FKM), das eine kontaminationsfreie Produktion gewährleistet und somit die strengen Anforderungen der Halbleiter- und Flachbildschirmfertigung erfüllt. Es kombiniert ein fluorfreies Basispolymer mit hochreinen synthetischen Füllstoffen, um metallische Verunreinigungen und extrahierbare Ionen zu minimieren und so außergewöhnliche Leistung und Zuverlässigkeit in Anwendungen zu erzielen, bei denen Reinheit entscheidend ist.
Dank seiner hohen mechanischen Festigkeit und elastischen Rückstellung bietet VPF20 eine höhere Lebensdauer sowohl bei statischen als auch bei dynamischen Dichtungsanwendungen und weist eine ausgezeichnete chemische Beständigkeit gegenüber den wichtigsten in Prozessen verwendeten Chemikalien auf. VPF20 ist eine kostengünstigere Alternative zu FFKM für Anwendungen mit moderaten Temperaturen und mittleren chemischen Anforderungen.
Es eignet sich ideal für die Herstellung von Dichtungen in Transfermodulen, Beladeschleusen, Gerätefrontmodulen (EFEMs) und Vakuumhandhabungssystemen sowie für universelle Vakuumdichtungen und Anlagen zur Herstellung von Flachbildschirmen. Es ist auch für Anwendungen geeignet, bei denen Reinheit von entscheidender Bedeutung ist und herkömmliche schwarze FKMs ein Kontaminationsrisiko darstellen.
Das gesamte PureFab®- umfasst Materialien, die in aggressiven Frontprozessen wie Abscheidung, Ätzen, Veraschung/Beizen, Plasmareinigung und thermischen Prozessen wie der Atomlagenabscheidung hervorragende Leistungen erbringen.
