Eine der wichtigsten Neuerungen ist die Trelleborg PureFab-Produktreihe, die für hohe Reinheit, geringe Verunreinigung, Beständigkeit gegen hohe Temperaturen und reduzierte Ausgasung entwickelt wurde.
Die Produktfamilie umfasst zwei Perfluorelastomere (FFKM), JPF50 und JPF58, sowie ein Fluorelastomer (FKM), VPF20, das ohne den Einsatz von Fluortensiden hergestellt wird. Laut Trelleborg weisen diese Werkstoffe die für anspruchsvolle Anwendungen erforderliche Festigkeit und Dauerhaftigkeit auf.
Die Abschaffung von Fluortensiden trägt dem wachsenden Interesse an der Reduzierung des Einsatzes dieser Substanzen Rechnung, die aufgrund ihrer Persistenz in der Umwelt verstärkt unter Beobachtung stehen.
Isolast PureFab-Materialien für Chip-Herstellungsprozesse
Trelleborg präsentiert außerdem seine Isolast PureFab-Produktreihe, bestehend aus FFKM-Materialien für Halbleiterfertigungsprozesse. Diese Materialien sind für Anwendungen wie Abscheidung, Ätzen, Abfallentfernung, Plasmareinigung und Wärmebehandlung, einschließlich Atomlagenabscheidung (ALD), konzipiert. Zu ihren wichtigsten Merkmalen zählen hohe Temperaturstabilität, hohe Reinheit, geringer Spurenmetallgehalt und Plasmabeständigkeit.
Diese Eigenschaften tragen dazu bei, die Partikelbildung und die Ausgasung unter Hochvakuumbedingungen zu reduzieren, was wichtige Faktoren zur Vermeidung von Verunreinigungen bei der Chipherstellung sind.
Dichtungen für Transferkammern und Vakuumpumpen
Das Unternehmen präsentiert außerdem Gummi-Metall-Nutventildichtungen, die speziell für Wafer-Transferkammern entwickelt wurden. Diese Komponenten vereinen Verschleißfestigkeit und geringe Ausgasung und eignen sich daher ideal für Anlagen zur Halbleiterfertigung mit hohem Durchsatz.
Eine weitere vorgestellte Lösung sind die Turcon Varilip PDR-Drehgelenke, die für Vakuumpumpen entwickelt wurden.
Durch ihren reibungsarmen Betrieb ohne Stick-Slip-Bewegungen wird die Wärmeentwicklung begrenzt, höhere Umfangsgeschwindigkeiten ermöglicht und der Energieverbrauch gesenkt. Laut von Trelleborg zitierten Tests benötigen diese Dichtungen bei Verwendung von Fomblinöl, das üblicherweise in Vakuumpumpen für die Halbleiterindustrie eingesetzt wird, nur etwa 50 % des Betriebsdrehmoments einer herkömmlichen Radialdichtung.
Dichtungslösungen für Flansche und Vakuumanwendungen
Das Angebot umfasst verschiedene Flanschdichtungssysteme, darunter Turcon Variseal NW mit einer von einem Turcon-Gehäuse geschützten Vorspannfeder. Diese Konstruktion verhindert den Kontakt zwischen Feder und Gehäuse sowie dem Prozessmedium und eignet sich daher für Vakuum- und fluorierte Gasanwendungen. Ebenfalls im Angebot ist die Isolast K-Fab Flanschdichtung aus FFKM, die für extreme Temperaturen und den Umgang mit komplexen Chemikalien ausgelegt ist.
Durch die Konstruktion wird weniger Elastomer als bei herkömmlichen O-Ringen benötigt, was die Wärmeleistung verbessert und Probleme durch Materialausdehnung reduziert. Das Unternehmen vervollständigt sein Produktsortiment mit O-Ring-Zentrierringen, die in Standard- und kundenspezifischen Ausführungen aus FKM- und Isolast PureFab FFKM-Materialien erhältlich sind.
Simulation zur Vorhersage der Lebensdauer von Dichtungen
Neben Werkstoffen und Komponenten stellt Trelleborg seine Ingenieurskompetenz in der Entwicklung von Dichtungslösungen für spezifische Anwendungen unter Beweis. Dazu gehört die Anwendung der Finite-Elemente-Analyse (FEA) zur Modellierung der bleibenden Druckverformung von Elastomeren und zur Abschätzung der Lebensdauer von Dichtungen.
Laut Chris Busby, Global Segment Director von Trelleborg Sealing Solutions, ermöglicht dieser Ansatz genauere Vorhersagen über die Haltbarkeit von Bauteilen als solche, die ausschließlich auf herkömmlichen Prüfverfahren basieren.
Mit diesen Neuentwicklungen will das Unternehmen den Anforderungen der Halbleiteranlagenhersteller gerecht werden, insbesondere im Hinblick auf Reinheit, chemische Beständigkeit, thermische Stabilität und reduzierte Wartungskosten.
