Chris Busby, globaler Leiter des Halbleitersegments, erklärt: „Diese neuen Hochtemperatur-FFKM und -FKM sind frei von fluorierten Tensiden. Das bedeutet, dass sie ohne niedermolekulare PFAS-haltige fluorierte Tenside hergestellt werden, um die Umweltbelastung zu reduzieren. Ihre Einführung hilft Halbleiterkunden, ihre Dichtungslösungen zukunftssicher zu gestalten und den Anforderungen von Vorschriften zur Reduzierung oder Eliminierung von PFAS gerecht zu werden. Gleichzeitig wird die Umweltbelastung ihrer Produkte verringert, ohne Kompromisse bei Materialleistung und Haltbarkeit einzugehen.“
Isolast® PureFab® JPF50 ist ein hochreines, füllstofffreies FFKM, das die Lagerfähigkeit verlängert und die Leistung steigert und damit die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie erfüllt. Isolast® PureFab® JPF58 ist ein Hochtemperatur-FFKM, das Reinheit und Leistung in anspruchsvollen Halbleiteranwendungen bietet und die Lagerfähigkeit verlängert. Isolast® PureFab® VPF20, ein hochreines FKM, wurde für die kontaminationsfreie Produktion in der Halbleiter- und Flachbildschirmfertigung entwickelt, wo Reinheit von entscheidender Bedeutung ist. Das gesamte Trelleborg-Sortiment an Halbleiterlösungen ist darauf ausgelegt, unter den extremen Temperaturen und aggressiven chemischen Vorläufern, die die Halbleiterindustrie zunehmend prägen, optimale Leistung zu erbringen und vorzeitigen Ausfall zu verhindern.
„Als Trelleborg-Kunde profitieren Sie von erstklassigen Ingenieursleistungen zur Entwicklung maßgeschneiderter Lösungen für die zunehmend extremen Umgebungsbedingungen moderner Fabriken und Produktionsstätten. Dazu gehört auch die einzigartige Möglichkeit, Druckverformungsdaten mittels Finite-Elemente-Analyse (FEA) zu modellieren“, ergänzt Busby. „Unsere fortschrittliche, wegweisende FEA ermöglicht Ingenieuren präzisere Vorhersagen zur Lebensdauer von Dichtungen bei der Entwicklung und Fertigung von Endprodukten.“
Trelleborg präsentiert sein komplettes Isolast® PureFab®-Sortiment, das in anspruchsvollen Vorverarbeitungsprozessen wie Beschichtung, Ätzen, Entaschung/Stripping, Plasmareinigung und Wärmebehandlung, einschließlich Atomlagenabscheidung, höchste Leistung erbringt. Ein herausragendes Produkt der Trelleborg Isolast® PureFab®-Reihe ist JPF44, ein Hochtemperatur-FFKM mit einer Shore-A-Härte von 75, das bei Temperaturen bis zu 325 °C eingesetzt werden kann. JPF44 wurde für Dichtungen bei extremen Temperaturen in thermischen und subtextilen Prozessumgebungen entwickelt und zeichnet sich durch hervorragende chemische Beständigkeit gegenüber reaktiven Gasen wie NF₃, O₂ und CF₄ aus. Es bietet eine überlegene Beständigkeit gegen Druckverformungsrest, selbst nach lang anhaltenden Temperaturwechseln, und eignet sich ideal für RTP, Hochtemperatur-CVD, Werkzeuge für Diffusionsöfen und Vakuumpumpen. Dank geringer Ausgasung und relativ hoher Reinheit werden Partikelbildung und Verunreinigungen minimiert, was eine zuverlässige, langfristige Abdichtung gewährleistet und somit Werkzeugstillstandszeiten und die Häufigkeit von vorbeugenden Wartungsarbeiten reduziert.
Ebenfalls ausgestellt sind geklebte Nutventildichtungen für Wafer-Transferkammern, die im Vergleich zu herkömmlichen O-Ringen eine deutlich höhere Leistung bieten. Sie bestehen aus dynamischen, mit dem Metall verbundenen Gummidichtungen und zeichnen sich durch eine längere Lebensdauer und wesentlich zuverlässigere Dichtungsleistung aus. Dank ihrer extrem geringen Partikelbildung und hohen Haltbarkeit werden kostspielige Ausfallzeiten und Wartungsintervalle minimiert. Selbstverständlich erfüllt dieses zuverlässige Produkt alle Standards der Halbleiterindustrie. Eine weitere ausgestellte Lösung ist die Turcon® Variseal® NW. Das Turcon® Flanschdichtungsgehäuse enthält eine Betätigungsfeder, die den Kontakt zwischen der Feder bzw. dem Federhohlraum und dem Systemmedium verhindert. Sie ist ideal für Halbleiteranwendungen, da sie im Vakuum zuverlässig funktioniert und sich auch mit Fluorgas bewährt hat.
Trelleborg wird in Kürze eine neue Lösung vorstellen, die die Elastomerbänder ergänzt, welche üblicherweise die Klebeschicht zwischen den Keramik- und Aluminiumschichten von elektrostatischen Dornen (ESCs) schützen. ESCs sind spezielle Dorne, die Objekte mithilfe elektrostatischer Kräfte halten, fixieren oder aufnehmen und typischerweise in Ätz- und Beschichtungskammern zur Fixierung dünner, empfindlicher Siliziumwafer eingesetzt werden. Die aus hochreinen Isolast® PureFab® FFKM- oder Turcon® PTFE-Verbindungen gefertigten Dichtungslösungen von Trelleborg für ESC-Dorne verlängern deren Lebensdauer, indem sie den Außendurchmesser der ESCs vor Plasmaerosion schützen. Sie sind in Elastomer- (FFKM) und PTFE-Ausführung für Tieftemperatur-Ätzanwendungen erhältlich.
