Die IDT-Module FS1012 und FS2012 sind Hochleistungs-Durchflusssensoren für Flüssigkeiten und Gase. Sie nutzen ein Array von MEMS-Thermoelementen und bieten dadurch ein exzellentes Signal-Rausch-Verhältnis. Die robuste Wärmeisolierung des aktiven MEMS-Sensorelements sorgt zusammen mit der Siliziumkarbid-Beschichtung für hervorragende Beständigkeit gegen Abrieb und hohe Langzeitstabilität.

Der FS1012 ist ein unkalibriertes, eigenständiges Durchflusssensormodul mit einer Versorgungsspannung von 3 V bis 5 V und einem analogen Millivolt-Ausgang. Der FS2012 ist eine vollständig kalibrierte Version des FS1012-Durchflusssensors mit einem digitalen I²C-Ausgang und einem analogen Ausgang von 0 V bis 5 V sowie einer Temperaturkompensationsschaltung für den einfachen Einsatz in komplexen digitalen Systemen. Das FS2012-Modul bietet eine Genauigkeit von bis zu 2 % des Messwerts und gewährleistet so hohe Präzision sowohl bei hohen als auch bei niedrigen Durchflussmengen mit demselben Sensormodul.

Da diese Sensoren keine beweglichen Teile und keine empfindliche Membran über einem Hohlraum besitzen, vermeiden sie verstopfte Sensorelemente und Druckempfindlichkeit, bieten eine ausgezeichnete Stoßfestigkeit und schützen das Sensorelement vor Beschädigungen durch Chemikalien. Die IDT-Module FS1012 und FS2012 eignen sich ideal für Anwendungen in der Medizin, Industrie und im Lebensmittelbereich, wo Zuverlässigkeit, Robustheit und Schutz vor Kreuzkontamination entscheidend sind.